ULVAC爱发科真空泵油R-7000 4L
ULVAC爱发科真空泵油R-7000 4L
ULVAC爱发科真空泵油R-7000 4L
| 项目 | 规格 | 备注 |
|---|---|---|
| 型号 | ULVOIL R-7000 | 4L 铁桶 / 塑料桶 |
| 基础油 | 合成烃(含芳香环结构) | 非矿物油 |
| 运动黏度(40℃) | 约 68 mm²/s | ISO VG 68 |
| 闪点(COC) | > 260℃ | 高温稳定 |
| 倾点 | ≤ -20℃ | 低温流动性好 |
| 极限蒸气压(20℃) | ≤ 7×10⁻¹ Pa | 高真空适配 |
| 氧化稳定性 | 极优 | 寿命为矿物油 20–30 倍 |
| 抗腐蚀性 | 极强 | 耐 NOₓ、O₃、卤素、活性气体 |
| 抗乳化 / 抗粉尘 | 优异 | 快速分水、均匀分散硬质颗粒 |
半导体级抗腐蚀
耐活性气体、卤素、臭氧、氮氧化物,适配刻蚀、CVD、PVD 等强腐蚀工艺。
保护泵体,大幅降低腐蚀性气体对泵的损伤。
超长寿命,降本显著
换油周期可达6000–10000 小时,是普通矿物油的 20–30 倍。
减少停机维护,降低总运营成本。
高真空与粉尘兼容
低蒸气压,保障高真空度稳定。
优异颗粒分散性,适配含粉尘、硬质颗粒的工艺气体。
环保与兼容
合成烃结构,处置方式与矿物油一致,无需特殊环保流程。
兼容爱发科全系列油回转真空泵。