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ULVAC爱发科真空泵油R-7000 4L杨:181-0560-8753

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简介

ULVAC爱发科真空泵油R-7000 4LULVAC爱发科真空泵油R-7000 4LULVAC爱发科真空泵油R-7000 4L技术参数表格项目规格备注型号ULVOIL R-70004L 铁桶 / 塑料桶基础油合成烃(含芳香环结构)非矿物油运动黏度(40℃)约 68 mm/sISO VG 68闪点(COC)> 260℃高温稳定倾点≤ -20…

分类: 化学品类,
产品详情

ULVAC爱发科真空泵油R-7000 4L

ULVAC爱发科真空泵油R-7000 4L

ULVAC爱发科真空泵油R-7000 4L

技术参数

表格
项目规格备注
型号ULVOIL R-70004L 铁桶 / 塑料桶
基础油合成烃(含芳香环结构)非矿物油
运动黏度(40℃)约 68 mm²/sISO VG 68
闪点(COC)> 260℃高温稳定
倾点≤ -20℃低温流动性好
极限蒸气压(20℃)≤ 7×10⁻¹ Pa高真空适配
氧化稳定性极优寿命为矿物油 20–30 倍
抗腐蚀性极强耐 NOₓ、O₃、卤素、活性气体
抗乳化 / 抗粉尘优异快速分水、均匀分散硬质颗粒

核心优势

  1. 半导体级抗腐蚀

    • 活性气体、卤素、臭氧、氮氧化物,适配刻蚀、CVD、PVD 等强腐蚀工艺。

    • 保护泵体,大幅降低腐蚀性气体对泵的损伤。

  2. 超长寿命,降本显著

    • 换油周期可达6000–10000 小时,是普通矿物油的 20–30 倍。

    • 减少停机维护,降低总运营成本。

  3. 高真空与粉尘兼容

    • 低蒸气压,保障高真空度稳定。

    • 优异颗粒分散性,适配含粉尘、硬质颗粒的工艺气体。

  4. 环保与兼容

    • 合成烃结构,处置方式与矿物油一致,无需特殊环保流程。

    • 兼容爱发科全系列油回转真空泵。


ULVAC爱发科真空泵油R-72杨:181-0560-8753
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ULVAC爱发科真空泵油R-72杨:181-0560-8753