NFPR-ND-71-9.52-2日本fujikin富士金隔膜阀合肥栗山胡181/0560/8873
NFPR-ND-71-9.52-2日本fujikin富士金隔膜阀合肥栗山胡181/0560/8873
NFPR-ND-71-9.52-2日本fujikin富士金隔膜阀合肥栗山胡181/0560/8873
メーカー:株式会社フジキン(Fujikin)製品型式:NFPR-ND-71-9.52-2シリーズ:NEW MEGA シリーズ(自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ)
駆動方式 ガス作動(ノーマルクローズ NC)
呼び径9.52mm(3/8" OD)
最高使用圧力1MPa
使用温度範囲-10℃ ~ +80℃
作動圧力0.4 ~ 0.6MPa
Cv 値0.65(20℃ 窒素ガス時)
接続形式 UJR 継手(両端めす,品番末尾「2」)
ボディ材質SUS316L(ステンレス鋼)
ダイヤフラム材質 ニッケル - コバルト合金
シート材質PCTFE(標準)
クリーン度完全禁油
外部リーク量5×10⁻¹² Pa・m³/s 以下(実績)
外形寸法面間距離 L 83mm,高さ H 79.2mm,幅 W 20.2mm
質量約 320g(標準仕様)
主な用途
半導体製造装置:CVD、エッチング、イオン注入等の超高純度ガスライン
新能源・バイオ関連:可燃性・毒性ガス・高純度液体の制御
分析機器:ガスクロマトグラフ、質量分析計等のキャリアガス制御


fujikin富士金FPR-PNSD-721-6.35-316LP气动隔膜阀胡181*0560*8873