仪器仪表类 FUJIKIN富士金FCST1005MLC-4J2-F500-HCL气体流量计胡181/0560/8873

FUJIKIN富士金FCST1005MLC-4J2-F500-HCL气体流量计胡181/0560/8873

FUJIKIN富士金FCST1005MLC-4J2-F500-HCL气体流量计

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简介

FUJIKIN富士金FCST1005MLC-4J2-F500-HCL气体流量计胡181/0560/8873 FUJIKIN富士金FCST1005MLC-4J2-F500-HCL气体流量计胡181/0560/8873 FUJIKIN富士金FCST1005MLC-4J2-F500-HCL气体流量计胡181/0560/8873 CST1005MLC-4J2-F500-HCL 是日本富士金（FUJIKIN）T1000 系列热…

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FUJIKIN富士金FCST1005MLC-4J2-F500-HCL气体流量计胡181/0560/8873

CST1005MLC-4J2-F500-HCL 是日本富士金（FUJIKIN）T1000 系列热式气体质量流量控制器（MFC），专为 ** 氯化氢（HCL）** 等腐蚀性工艺气体高精度流量控制设计，广泛用于半导体、光伏、LED 等先进制造领域。

流量量程0–500 SCCM（N₂换算，HCL 专用校准）

精度±1.0% F.S.（满量程，15–35℃）

重复精度±0.2% F.S.

响应时间≤1 秒（2%–100% F.S.）

工作压力最大 400 kPaG（4 bar）

工作温度5–50℃

供电DC 24V（±10%）

信号接口模拟 0–5VDC 输入 / 输出；可选 RS-485 通讯