ULVAC爱发科测头SWT-16
ULVAC爱发科测头SWT-16
ULVAC爱发科测头SWT-16
| 项目 | 规格 | 备注 |
|---|---|---|
| 型号 | SWT-16 (NW16) | 复合电离传感器测头 |
| 适配主机 | ST200 系列(ST200‑A/R/E) | 需搭配 ST200 控制器ULVAC SHOWCASE |
| 测量范围 | 1×10⁻⁵ Pa ~ 2×10⁺⁵ Pa | 宽量程,覆盖高真空至大气压 |
| 法兰规格 | NW16 | 快装法兰,标准真空接口 |
| 传感器体积 | 17 cm³ | 小型化设计 |
| 灯丝材质 | Ir/Y₂O₃ 涂覆 PtC‑Mo | 长寿命、抗腐蚀、耐高温ULVAC SHOWCASE |
| 其他材质 | SUS304、W、可伐玻璃、可伐 / 镀镍 | 真空兼容、耐腐蚀ULVAC SHOWCASE |
| 耐压上限 | 2×10⁺⁵ Pa(绝对压力) | 可承受大气压冲击 |
| 工作温度 | 10~50℃ | 工业环境稳定 |
| 供电 | DC 20~28V,<8W | 低功耗 |
| 防护等级 | IP30 | 室内安装 |
半导体:刻蚀、LPCVD、PECVD、ALD、离子注入
光伏 / 面板:PVD、CVD、真空镀膜、OLED / 触摸屏制程
真空炉、真空干燥、实验室高真空系统
爱发科全系列高真空设备配套
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