销售ULVAC爱发科CRYO-U8H标准低温泵8型胡181-0560-8873
销售ULVAC爱发科CRYO-U8H标准低温泵8型胡181-0560-8873
销售ULVAC爱发科CRYO-U8H标准低温泵8型胡181-0560-8873
到達圧力 Pa(Torr)10⁻⁷(10⁻⁹)
最大流量アルゴン
水素Pa・L/s(Torr・L/s)1.2×10³(8.9)
2.4×10²(1.8)
排気容量 アルゴン
水素Pa・L(Torr・L)1.0×10⁸(7.6×10⁵)
1.0×10⁶(7.6×10³)
冷却降下時間(電力サイクル) min(Hz)100/90(50/60)
用途
電子デバイス開発の実験装置、半導体・光学薄膜の小型生産ライン、真空分析機器、宇宙開発関連の真空試験室など、超高真空が必要な各種分野に広く適用。
軽量・コンパクトで出荷台数も多く、クライオポンプのスタンダード。
実験装置、小型生産装置向き。
マルチ運転(最大 3 台)が可能。
超高真空(10⁻⁸ Pa 以下)が可能。


NITTO日东工器4P-A STEEL FKM/4P-A BRASS FKM钢制快速接头181/0560/8873